1.明確具體工況：
壓力范圍：具體是多少Pa(或相對真空度)？是靜態負壓還是動態變化？
氣體成分：是否有腐蝕性氣體(如Cl2,HF)、有機溶劑蒸汽或顆粒物？
溫濕度范圍：工作溫度和濕度范圍是多少？是否有冷凝風險？
潔凈/滅菌要求：是否需要耐受高壓滅菌、干熱滅菌或化學熏蒸？
2.篩選傳感器類型：
對精度和穩定性要求高，且預算充足：優先考慮冷鏡式或TDLAS。
用于低濕(深負露點)測量：薄膜氧化鋁是經典選擇。
一般工業負壓環境，追求性價比：選擇高品質、經過驗證的工業級電容式傳感器，并務必確認其壓力補償能力和封裝密封性。
存在化學污染或需頻繁清潔：尋找具有惰性涂層、陶瓷封裝或可清洗設計的傳感器。
3.確認技術細節：
向供應商明確詢問：“該傳感器在XX Pa的負壓下，精度和穩定性數據如何？是否有壓力補償或校準數據？"
索取壓力測試報告或應用案例。
檢查防護等級：至少IP65(防塵防噴水)以上，確保密封性。
了解校準周期和現場校準的可行性。
4.安裝與系統集成考慮：
原位安裝：使用專用的真空法蘭或密封接頭，確保無泄漏。
旁路取樣：設計取樣回路時，盡量使傳感器測量腔的壓力與主環境一致，或使用壓差傳感器進行讀數補償。選用適合負壓的微型隔膜取樣泵。
避免在氣流劇烈波動或死區位置安裝。
推薦品牌與方向（僅供參考）：
高基準級：密析爾冷鏡式露點儀OPT401(冷鏡、陶瓷電容)、維薩拉露點儀DMT143L(Vaisala，多種技術)、肖氏的露點儀。
工業級：維薩拉DMT143(Vaisala)、羅卓尼克HC2A-DP(Rotronic)這些品牌通常提供適用于嚴苛環境的工業變送器。
專業領域：阿爾法(Alpha Moisture Systems)、CS Instruments等在壓縮空氣和干燥領域有專長。
總結建議：
對于大多數工業負壓環境，選擇工業級電容式濕度變送器，并重點驗證其壓力兼容性和密封設計，是性價比高的方案。對于關鍵工藝、低濕測量或科研級應用，則應投資冷鏡式、薄膜氧化鋁或TDLAS等更穩健的技術。
最終，務必與傳感器供應商的技術支持深入溝通你的具體工況，并要求提供針對負壓環境的性能數據或進行現場測試，這是成功選型最關鍵的步驟。
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